Moinsen!

Ich lerne grad für meine Prüfung im Fach Mikrosystemtechnik. Es geht um Monolithische Integration. Eine Folie versteh ich nicht.
Sie basiert auf
J. Albers, "Grundlagen integirerter Schaltungen"
Vielleicht hat das ja jemand zufällig zur Hand.
In meinen Büchern hab ich keinen ergänzenden Hinweis gefunden.


Den aus Poly-Si hergestellten Widerstand verstehe ich (nicht im Bild).
Aber das unten stehenden Bild wirft folgende Fragen auf

1)

Zitat :

Hohe Dotierung durch Ionenimplantation. Warum?

Was will uns der Künstler damit sagen?
Worauf bezieht sich das warum? Warum man Ionenimplantiert oder warum mach durch die Implantation eine hohe Dotierung bekommt.

2) wie ist die jeweilige Antwort?
so weit bin ich ncoh ncht durchgedrungen!

3) Warum isoliert der sich selbst?

Als handchsriftlicher Kommentar hab ich "--> monolitisch herstellbar" drunter stehen. Kann das eine Antwort sein?

Das war halt im März und ich hab keine Ahnung was ich damit bezwecken wollte.Zumal wir an dem Tag 90 Seiten um die Ohren geballtert bekommen haben.

Vielen Dank vorab!






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Als erstes, es kann sein das ich Schwachsinn rede, Meine Vorlesung in Halbleitertechnik ist schon 10 Jahre her.


zu 1. Warum man Ionenimplanitert: damit man exakt ist.
es kommt aber auch darauf an, hoch zu dotieren. Du musst ja das das Substrat von p- nach n+ umdrehen.

zu 2. es bildet sich ein PN-Übergang zwischen Substrat und Kanal, der Isoliert in eine Richtung.

Das würde auch den Nachteil der Spannungsabhängigkeit erklären, die Breite des Überganges (und damit die Restbreite des Kanals) ist abhängig
von der Spannung zwischen Substrat und Kanal.

Gruß Topf_Gun

Auch hier nochmal danke.

Wieder nicht zweckorientiert gelernt. Ein MOSFET kam dran. Aber auch nicht selbst zeichnen, nur beschriften und erklären wie man die Metallisierung drauf bringt und das Verfahren / Anlage erklären.

Ich hab mich für Aufdampfen entschieden - richtisch!
war erst unsicher Aufdampfen oder Sputtern (hatte beides mit Bleistift hingeschrieben) und hab den Prüfer gefragt ob ich auch auf eine richtige Erklärung einer falschen Entscheidung Punkte bekomme. Er dann so "ich bin mit ihrer Antwort schon mehr als glücklich"






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