(Links zu) Übungsaufgaben und Infos im Bereich Mikrosystemtechnik

Hallo!

Würd mich gern noch etwas intensiver auf meine Klausur vorbereiten, daher würd ich gern ein paar Aufgaben rechnen, die wir nicht besprochen haben, die aber in den Bereich fallen.

Hab auch schon gegoogelt, aber nix wirklich brauchbares gefunden.

Was mich interessiert:
- Mikrosensoren
- Mikroaktoren
- Aufbau / Verbingstechnik
Ich geb mal Beispiele was wir so gerechnet haben, in diesem Fahrwasser sollte sich das befinden:

Sensoren
Hallsensoren
Gassensoren (Metalloxid)
ISFET (ionen sensitiver FET) -> v.A pH-Wert Messung
Beschleunigungssensoren
Differentialkondensatorprinzip
Seebeck Effekt
Piezoresistiver und kapazitiver Drucksensor
Si Biegebalken
Wärmesensor (Strahlungssensor, schwarzer Körper...)
Metallwiderstandsensoren
Atomic Force Microscope (AFM)

Aktoren:
Piezo Aktor
Membran Mikropumpe

Dann bräucht ich für Aufbau und Verbindungstechnik was zu folgenden Themengebieten:
- Signaausbreitungsgeschwindigkeiten auf Leiterbahnen
- Kritische Leitungslänge
- Stichpunkt: epsilon r
- Laserabgleich
- Feuchtesensor auf Dickschichtbasis

Was ich nicht brauche sind Aufgaben zu Herstellungsprozessen, Substrattechnologien, Si-Gitterstrukturen etc. das kommt erst nächstes Semester.

Es wär halt nett, wenn jemand gute Seiten (freie pdfs) kennt wo ich noch ein bißchen Üben kann.
Macht euch keinen Stress und fangt wegen mir das scannen oder rausschreiben an...

Beispiel: Berechnen sie,
a) wie weit isich die Membran biegt
b) wie dick sie den Balken auslegen müssen
c) welche Spannung folgender Sensor bei einer Konzentration von xy, ausgibt
....

Mit Ergebnissen wär toll, ist aber nicht soo nötig, kann das ja mit den Kommilitonen gegenrechnen.

DANKE VORAB!

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